フォトレジスト組成物用の成膜性樹脂の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：江崎光史 , 奥村義道 , 鍛冶澤實
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-105563
公開番号（公開出願番号）：特開2007-291387
出願日： 2007年04月13日
公開日（公表日）： 2007年11月08日
要約：

【課題】フォトリソグラフィ用組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂の提供。【解決手段】本発明は、フォトリソグラフィ用組成物に使用するのに適した成膜性樹脂の製造方法であって、溶剤中の成膜性樹脂の溶液を少なくとも二種のフィルターシートに通し、この際、一方のフィルターシートは、粒状強カチオン性もしくは弱カチオン性イオン交換樹脂を含み、他方のフィルターシートは、粒状強アニオン性もしくは弱アニオン性イオン交換樹脂を含むものであり、そして前記フィルターシートを、前記の溶液の調製に使用した溶剤ですすぎ、そして成膜性樹脂の溶液を、上記の第一のフィルターシート、次いで上記の第二のフィルターシートに通すことを含む方法を提供する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィ用組成物に使用するのに適した成膜性樹脂の製造方法であって、次の段階、すなわち (a) 溶剤中の成膜性樹脂の溶液を用意する段階、 (b) 以下のフィルターシートの少なくとも二つを用意する段階、 (i) 自己支持性の繊維質マトリックスを含むフィルターシートであって、前記マトリックスは、その中に不動化された粒状濾過助剤、場合により及びバインダー樹脂、及び粒状強カチオン性もしくは弱カチオン性イオン交換樹脂を有し、この際、前記濾過助剤、場合により使用されるバインダー樹脂、及び強カチオン性もしくは弱カチオン性イオン交換樹脂粒子は、上記マトリックスの横断面にわたって実質的に均一に分布しているフィルターシート; 及び (ii) 自己支持性の繊維マトリックスを含むフィルターシートであって、前記マトリックスは、その中に不動化された粒状濾過助剤、場合により及びバインダー樹脂、及び粒状強アニオン性もしくは弱アニオン性イオン交換樹脂を有し、この際、前記粒状濾過助剤、場合により使用されるバインダー樹脂、及び強アニオン性もしくは弱アニオン性イオン交換樹脂粒子は、前記マトリックスの横断面にわたり実質的に均一に分布しているフィルターシート; (c) 段階(b)のフィルターシートを、段階(a)の溶剤ですすぐ段階、及び (d) 前記成膜性樹脂の溶液を、段階(c)ですすいだ段階(b)(i)のフィルターシートに通し、次いで段階(c)ですすいだ段階(b)(ii)のすすぎ済みのフィルターシートに通す段階、を含み、それによってフォトリソグラフィ用組成物に使用するのに好適な成膜性樹脂を製造する、上記方法。

IPC (3件)：

C08J 3/00 , B01D 37/02 , G03F 7/039

FI (3件)：

C08J3/00 , B01D37/02 D , G03F7/039 601

Fターム (27件)：

2H025AA04 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC07 , 2H025AC08 , 2H025BE07 , 2H025BF02 , 2H025BG00 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4D066AB02 , 4D066AB03 , 4D066BA01 , 4D066CA02 , 4D066CA05 , 4D066CA07 , 4D066CA12 , 4D066CA17 , 4D066CA18 , 4F070AA12 , 4F070AA30 , 4F070AA32 , 4F070AB17 , 4F070BB05 , 4F070CA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6,103,122号明細書

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