特許

J-GLOBAL ID：200903083347524989

回折格子用スタンパーの製造方法

発明者： 新田 佳樹
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-360657
公開番号（公開出願番号）：特開平6-201908
出願日： 1992年12月29日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：

【要約】【目的】 回折格子形状の転写性及び原盤、成形品のとの離型性を向上させる。【構成】 ガラス基板1上にレジストを用いて回折格子パターン2を形成する。次に、回折格子パターン2上に、フッ素樹脂とCrを均一に分散させた複合膜からなる導電性薄膜3を、2元蒸着法により形成する。その後、電鋳法によりNi電鋳層4を導電性薄膜3上に形成し、導電性薄膜3を境にガラス基板1を離型して、スタンパー5を得る。導電性薄膜3に含まれるフッ素樹脂は、ガラス基板1及び成形品6に対して優れた離型性を有する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板上にレジストを用いて回折格子パターンを形成した後、電通用の導電膜を形成し、電鋳法にてNi電鋳層を形成した後脱型してスタンパーを得る製造方法において、前記導電膜が金属とフッ素樹脂の複合膜からなることを特徴とする回折格子用スタンパーの製造方法。