特許
J-GLOBAL ID：200903083348575560
クリーンルームの空気浄化装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-207956
公開番号（公開出願番号）：特開平5-044958
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年02月23日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルームの循環空気に含まれる微量ガス成分を効率よく除去することを可能とする。【構成】 クリーンルーム1の循環空気通路8に高電圧放電部17を設けると共にその下流に微粒子捕集用フィルタ20とオゾン分解触媒層18と吸着剤層19を設けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
クリーンルームの循環空気通路に高電圧放電部を設けると共にその下流に微粒子捕集用フィルタとオゾン分解触媒層と吸着剤層を設けたことを特徴とするクリーンルームの空気浄化装置。
引用特許：
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