特許
J-GLOBAL ID:200903083387265269

分割型フォトダイオード

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-094442
公開番号(公開出願番号):特開2000-286403
出願日: 1999年04月01日
公開日(公表日): 2000年10月13日
要約:
【要約】【課題】 光応答特性を高めノイズの発生を低減して、受光状態を高精度で検出することが可能な分割型フォトダイオードを提供する。【解決手段】 四角形の4個のフォトダイオード1A〜1Dを、互いに辺を対接させ全体が四角形となるように集合構成した分割型フォトダイオード1から形成され、分割型形フォトダイオード1の外周縁辺近傍が、各フォトダイオード1A〜1Dの互いに対接する辺に対称に、受光面の不受光領域が三角形の切欠部5Aa、5Ba、5Ca、5Caとして受光面から切除され、フォトダイオード1A〜1Dから、それぞれフォトダイオード1Aa〜1Daが形成され、フォトダイオードの受光面の入射レーザ光を全く受光せず、光電変換に寄与しない領域でのフォトダイオードのpn接合容量による光応答特性の低下とノイズの発生によるS/Nの低下とが低減され、光応答特性が高められ、ノイズの発生を低減して入射光の受光状態を高精度で検出することが可能になる。
請求項(抜粋):
複数のフォトダイオードが、集合中心の回りに互いに対接状態で集合配置されて、全体が所定合成形状の分割型フォトダイオードが構成され、入射光の前記各フォトダイオードの受光面での受光信号に基づいて、前記入射光の受光状態の検出が行われる分割型フォトダイオードであり、前記複数のフォトダイオードの受光面は、前記入射光の不受光領域において、原受光面から前記不受光領域の一部が切欠部として切除された形状を有することを特徴とする分割型フォトダイオード。
IPC (4件):
H01L 27/14 ,  G11B 7/09 ,  G11B 7/13 ,  H01L 31/10
FI (4件):
H01L 27/14 Z ,  G11B 7/09 A ,  G11B 7/13 ,  H01L 31/10 A
Fターム (31件):
4M118AA05 ,  4M118AB10 ,  4M118CA02 ,  4M118CA19 ,  5D118AA14 ,  5D118BA01 ,  5D118BB02 ,  5D118BF02 ,  5D118BF03 ,  5D118CD02 ,  5D118CD03 ,  5D118CD07 ,  5D118CF01 ,  5D118CF06 ,  5D119AA12 ,  5D119AA28 ,  5D119BA01 ,  5D119EA02 ,  5D119EA03 ,  5D119KA02 ,  5D119KA14 ,  5D119KA19 ,  5D119KA24 ,  5F049MA02 ,  5F049NA03 ,  5F049NA04 ,  5F049NB08 ,  5F049RA02 ,  5F049TA12 ,  5F049TA20 ,  5F049UA01

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