特許
J-GLOBAL ID：200903083387951642
レーザ加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100873
公開番号（公開出願番号）：特開平5-293686
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月09日
要約：
【要約】【目的】 プラズマが発生するレーザ加工時でも、加工ヘッドと被加工物との距離を常に一定に制御することのできるレーザ加工装置を得ること。【構成】 加工ヘッド28のノズルを、第1のノズル29と、第1のノズル29の外周にノズル隙間34を介して配設され第1のノズル29と電気的に絶縁された第2のノズル31とにより二重構造に構成し、また第2のノズル31を絶縁ノズル32とその外周に設けた金属ノズル33とにより形成し、さらにこの金属ノズル33をプラズマ19に対して十分離して保持させる。 レーザ加工時に発生したプラズマ19は金属ノズル33に接触せず、この金属ノズル33と被加工物9との間で正しく静電容量12が検出され、加工ヘッド28の高さを常に一定に制御する。
請求項（抜粋）：
集光手段により集光したレーザ光を被加工物に照射すると共に、前記被加工物の加工部に加工ガスを供給して前記被加工物を加工する加工ヘッドを有するレーザ加工装置において、前記加工ヘッドを、前記レーザ光を案内すると共に前記加工ガスを供給する第1のノズルと、絶縁ノズルと該絶縁ノズルの外周に設けた金属ノズルからなり、前記第1のノズルの外周にアシトガスを供給するノズル隙間を介して配設された第2のノズルとによって構成し、前記第2のノズルを構成する金属ノズルと前記被加工物との間の静電容量を検出して前記加工ヘッドの高さを制御するように構成したことを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (2件)：
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