特許
J-GLOBAL ID：200903083392024504

基板精度の検出機能を有する露光装置

発明者：
猪俣 俊徳

猪俣 俊徳 について


出願人/特許権者：
ペンタックス株式会社

ペンタックス株式会社 について


代理人 (2件)： 松浦 孝 ,  小倉 洋樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-078200
公開番号（公開出願番号）：特開2005-265600
出願日： 2004年03月18日
公開日（公表日）： 2005年09月29日
要約：
【課題】 基板の平面精度を、全面に渡って効率的に確認できる機能を備えた露光装置を実現する。【解決手段】 ガラス基板20は、描画テーブル18上に固定され、固定テーブル29側に向けて移動する。このガラス基板20の移動中、計測用レーザ発振器14は、ガラス基板20の露光される表面に沿って、かつ露光面全般に渡ってガラス基板20と交差するように、計測用レーザ光LMを照射する。受光センサ16は、ガラス基板20の露光面上方を通過した計測用レーザ光LMを受光する。露光装置10は、計測用レーザ光LMの受光位置や、受光した光量に基づいて、ガラス基板20の平面精度が許容範囲内にあるか否かを判断する。ガラス基板20の平面精度が良好であれば、露光装置10は、露光用レーザ光LPによりガラス基板20を露光させ、回路パターンを形成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
平面状の基板を支持する支持部と、 前記基板の表面に沿ってレーザ光を照射するレーザ光発振部と、 前記レーザ光を受光する受光部と、 前記基板を、前記レーザ光が前記基板の表面全般に渡って交差するように、前記レーザ光発振部に対して相対的に移動させる移動手段と、 前記受光部が受光した前記レーザ光の光量および受光位置のうち少なくとも前記光量に基づいて、前記基板の平面精度が所定の許容範囲内にあるか否かを判断する基板平面精度判断手段とを備え、 前記レーザ光の照射により、前記基板の表面全般に渡って前記基板の平面精度が許容範囲内にあるか否かを判断することを特徴とする基板精度検出装置。
IPC (2件)：
G01B11/30 ,  H01L21/027
FI (2件)：
G01B11/30 101A ,  H01L21/30 515Z
Fターム (24件)：
2F065AA47 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065FF44 ,  2F065FF49 ,  2F065GG04 ,  2F065GG14 ,  2F065HH11 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ05 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS09 ,  5F046AA17 ,  5F046DA05
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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