特許
J-GLOBAL ID：200903083399622849
固定砥粒ワイヤソー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-201925
公開番号（公開出願番号）：特開平11-042548
出願日： 1997年07月28日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】被加工物を精度よく切断することができる固定砥粒ワイヤソーの提供。【解決手段】周面にグルーブローラ18と同一ピッチで多数の溝が形成された溝付テンションローラ32A、32Bをワイヤ列20の下部に押圧当接する。これにより、ワイヤ列20に高張力が付与され、振動が抑制される。また、ワイヤ列20を形成する固定砥粒付ワイヤ12は、溝付テンションローラ32A、32Bに形成された溝内を走行するため、水平方向に振動することもない。したがって、インゴット30を高精度に切断することができる。
請求項（抜粋）：
表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記グルーブローラ間のワイヤ列に押圧当接されるとともに、前記ワイヤ列に沿ってスライド自在に支持され、周面に前記ワイヤ列と同一ピッチの溝が形成された一対の溝付テンションローラと、前記一対の溝付テンションローラを移動させて、その間隔を前記被加工物の切断長に応じて可変させる間隔調整手段と、を備え、前記一対の溝付テンションローラ間のワイヤ列に前記被加工物を押し当てて、該被加工物を切断することを特徴とする固定砥粒ワイヤソー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
