特許

J-GLOBAL ID：200903083401983692

複合薄膜センサモジュール

発明者： 藤田 勝久 ,  村川 慎一 ,  江頭 良夫 ,  横山 充 ,  松田 稔 ,  石山 一郎 ,  嘉藤 雅記 ,  西田 達也
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 廣澤 勲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-293723
公開番号（公開出願番号）：特開平6-117679
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】【目的】 気温センサ、湿度センサ、気流センサ及び輻射センサ等を一体に形成した場合においても各測定対象を正確に検知する。【構成】 基板10上に少なくとも輻射センサ22と気温センサ20と湿度センサ30を設ける。基板10と所定の間隔を隔てて上方を覆った覆い板32を取り付け、覆い板32の各センサの上方にのみ開口部34を形成する。覆い板32と基板10との間の側面を、空気流が通過可能な開放部36にする。

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも輻射センサと気温センサと湿度センサを設け、この基板と所定の間隔を隔てて上方を覆った覆い板を設け、この覆い板の上記各センサ部の上方にのみ開口部を形成して成ることを特徴とする複合薄膜センサモジュール。

IPC (4件)：

F24F 11/02 103 ,  G01D 21/02 ,  G01K 7/16 ,  G01N 25/64