特許
J-GLOBAL ID：200903083409167681
ターボ型真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008890
公開番号（公開出願番号）：特開平5-195984
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】回転数の急激な増加に伴う背圧の上昇による翼の破損を防止し、大気圧から高真空まで円滑に排気する。【構成】背圧を常に監視し、この圧力値により適正回転数を算出する比較演算部2と、この比較演算部2の設定回転数でポンプ本体4の翼回転数を制御する回転数制御部3とを設け、背圧の急激な上昇を抑え滑らかに翼の回転数を上げて行き真空排気を行う。
請求項（抜粋）：
ポンプ本体の背圧を測定する圧力測定部と、この背圧に応じて回転数を演算する比較演算部と、算出された回転数により前記ポンプの翼の回転数を制御する制御部とを備えることを特徴とするターボ型真空ポンプ。
IPC (2件)：
F04D 19/04
, F04B 49/06 341
