測定顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-064768
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257411
出願日： 1996年03月21日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】曲率を有する被検体であっても焦点検出可能領域の判定を行うことができて短時間で段差の測定を可能にすること。【解決手段】十字動ステージ22上に被検体23が載置され、焦点検出用の光源27から偏向ビームスプリッタ、ハーフミラー20、対物レンズ21等を介して光が射出される。そして、被検体23からの反射光を基に焦点位置が検出される。また、上記対物レンズ31の像側焦点位置と共役な位置に配置された光源34から、被検体23と共役な位置に配置された絞り35、ハーフミラー20、対物レンズ31等を介して光が射出される。該被検体23からの反射光は、対物レンズ31、ハーフミラー20、変更ビームスプリッタ37等を介して光位置検出器40で検出される。合焦可否判定部45は、この光位置検出器40の出力に基いて、焦点位置検出動作の判定を行う。

請求項（抜粋）：

被検体を載置する十字動積載台と、焦点検出用の第1の光源と、この第1の光源より射出された光を上記被検体に集光させる対物レンズと、上記被検体からの反射光を基に焦点位置を検出する焦点検出手段とを備える測定顕微鏡に於いて、上記対物レンズの像側焦点位置と共役な位置に配置された第2の光源と、上記被検体と共役な位置に配置された絞りと、上記対物レンズを介し、該対物レンズの像側焦点位置と共役な位置に配置された光位置検出手段と、この光位置検出手段の出力に基いて上記焦点検出手段の焦点位置検出動作の判定を行う合焦動作判定手段とを具備することを特徴とする測定顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 9/04 , G02B 7/28 , G02B 21/00 , G03B 13/36

FI (4件)：

G01B 9/04 , G02B 21/00 , G02B 7/11 J , G03B 3/00 A

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