特許
J-GLOBAL ID：200903083414921300
光学測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329971
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160015
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 光学測定装置の照明光の光路の雰囲気の振動によるノイズを低減する。【構成】 He-Neレーザ7から発せられたレーザ光を第1のビームスプリッタ9によって2分して、図示しないXYステージのミラーM1 ,M2 に照射し、その反射光による干渉縞をレシーバー5,6によって測定することで、前記X,Yステージの位置ずれを測定する。2分されたレーザ光の一方のゆらぎをピックアップ12によって検出し、ピックアップ12の出力を位相シフタ13によって逆位相に変換して加振機14へ入力し、前記ゆらぎを発生させた雰囲気の振動と逆位相の振動を附加することでこれを減衰させる。
請求項（抜粋）：
物体に照射される照明光によって前記物体の計測を行う光学測定装置であって、前記照明光の光路の雰囲気の振動を測定する測定手段と、該測定手段の出力に基づいて、前記雰囲気に前記振動を減衰させる振動を附加する加振手段を有することを特徴とする光学測定装置。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G01B 11/02
, G01B 11/24
