特許

J-GLOBAL ID：200903083416623994

回折光学素子及びその製造方法

発明者： 吽野 靖行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-311299
公開番号（公開出願番号）：特開平11-133219
出願日： 1997年10月28日
公開日（公表日）： 1999年05月21日
要約：

【要約】【課題】 階段形状を切削加工することにより理想に近いブレーズド形状を形成する。【解決手段】 基板10上には、リソグラフィ法により予め所定の位置に階段形状14が作成されており、階段形状の角部分をカッタ11により削り取ってゆくと、切削加工途中の輪帯15は階段の角部の1部が削り取られた状態となり、切削加工が終了すると輪帯16のような理想的なブレーズド形状となる。

請求項（抜粋）：

リソグラフィ工程により基板表面上に形成した2段以上の階段形状の一部を切削加工してブレーズド形状を作成することを特徴とする回折光学素子。