特許
J-GLOBAL ID：200903083432445486
移動量検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 進
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-121572
公開番号（公開出願番号）：特開平7-324946
出願日： 1994年06月02日
公開日（公表日）： 1995年12月12日
要約：
【要約】【目的】磁気スケールの着磁ピッチが非常に微小な場合においても、確実に磁気スケールと磁気センサの間隔をとり、安定した位置信号を得ることのでき、構造も簡単な移動量検出装置を提供する。【構成】固定台10に対して移動自在に設けられたステージ1の移動量を検出する磁気エンコ-ダにおいて、上記ステージ1に設けられ、微小ピッチの磁気スケール7が着磁されたマグネット6と、上記固定台10側に、上記マグネット6に対して検出面が付勢されて設けられた磁気センサ8とを具備しており、上記マグネット6の磁気スケール7面に均一な膜厚のフッ素樹脂被膜9を焼き付け塗装する。
請求項（抜粋）：
固定部材に対して移動自在に設けられた移動部材の移動量を検出する移動量検出装置において、上記固定部材と移動部材のいずれか一方に設けられ、微小ピッチの磁気スケールが着磁されたマグネットと、上記固定部材と移動部材とのいずれか他方に、上記マグネットに対して検出面が付勢されて設けられた磁気センサと、を具備しており、上記マグネットの磁気スケール面と上記磁気センサの検出面との少なくとも一方に均一な膜厚の被膜処理を施したことを特徴とする移動量検出装置。
引用特許：
前のページに戻る
