特許
J-GLOBAL ID：200903083433385479
濃度測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-187038
公開番号（公開出願番号）：特開平7-020051
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：
【要約】【目的】 処理装置の稼働率を低下させることなく、処理液の濃度を正確に測定する。【構成】 制御部50によって操作弁42a〜42dが制御されることにより、洗浄液供給管10を介して洗浄処理部20に純水と所定の洗浄液とが交互に送られる。透過光測定用光学部60は、純水と洗浄液の透過光強度をそれぞれ測定して、その結果を濃度算出部70に送る。濃度算出部70では、被測定洗浄液の直前、または直後に流れる純水の透過光強度と、被測定洗浄液の透過光強度とに基づいて、処理液に応じた濃度算出手順に従って処理液の濃度を算出する。
請求項（抜粋）：
所定の処理液による処理工程と水洗工程とを交互に行う処理装置における前記処理液の濃度測定を、基準試料の濃度特性値に対する処理液の濃度特性値の比を求めることに基づいて行う濃度測定方法であって、前記処理液の濃度測定に用いられる基準試料の濃度特性値は、前記処理液を使った処理工程の前後の水洗工程で用いられる洗浄水の濃度特性値を測定することによって得られることを特徴とする濃度測定方法。
IPC (2件)：
G01N 21/59
, H01L 21/304 341
