レーザー光源および照明光学装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056593
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246648
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、露光装置の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを備えた光を、長時間安定して被照明面に対し均一に照明することができ、かつ、小型でメインテナンスが容易なレーザー光源を提供することにある。【解決手段】課題を解決するために本発明では、所定の波長域の光である基本波を発生するレーザー光発生部と、基本波から所望の波長の光を出力する非線形光学結晶とを備えたレーザー要素を複数並列に束ねて構成し、かつ各レーザー要素の光の射出端にレーザー要素からの光を発散させる光学素子を備えたこととした。

請求項（抜粋）：

所定の波長域の光である基本波を発生するレーザー光発生部と、前記基本波から所望の波長の光を出力する非線形光学結晶とを備えたレーザー要素を複数並列に束ねて構成し、かつ前記レーザー要素の光の射出端に前記レーザー要素からの光を発散させる光学素子を備えたことを特徴とするレーザー光源。

IPC (3件)：

H01S 3/16 , G02F 1/35 , H01L 21/027

FI (3件)：

H01S 3/16 , G02F 1/35 , H01L 21/30 527

前のページに戻る