特許
J-GLOBAL ID：200903083445499607
Si含有ガラス状カーボン材の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-234696
公開番号（公開出願番号）：特開平9-059065
出願日： 1995年08月21日
公開日（公表日）： 1997年03月04日
要約：
【要約】【課題】 Si成分を連続相として含有する均一緻密な複合組織を有し、耐酸化性に優れたSi含有ガラス状カーボン材の製造方法を提供すること。【解決手段】 1分子中に単一のSi原子を含むアミノシラン化合物(好ましくは3-アミノプロピルトリエトキシシラン)を熱硬化性樹脂液中に滴下して撹拌混合し、この混合液を成形硬化したのち、硬化成形体を非酸化性雰囲気下で800°C以上の温度により焼成炭化処理することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
1分子中に単一のSi原子を含むアミノシラン化合物を熱硬化性樹脂液中に滴下して撹拌混合し、該混合溶液を成形硬化したのち、硬化成形体を非酸化性雰囲気下で800°C以上の温度により焼成炭化処理することを特徴とするSi含有ガラス状カーボン材の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/52 B
, H01L 21/02 Z
