特許
J-GLOBAL ID：200903083459048110
研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 清孝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-025889
公開番号（公開出願番号）：特開平5-220658
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 遊離砥粒を使用することなく遊離砥粒を使用したのと同等な加工精度が得られる研磨方法を提供する。【構成】 砥粒を固形化させて形成した加工用定盤面に液体を供給させながら被加工物との相対的摺動を行なうことにより、被加工面を研磨するとともに粉状の砥粒が発生し、その後、液体の供給を遮断することにより、液体に混合された砥粒が加工用定盤面に残り、加工用定盤と被加工物との相対的摺動を続けることにより、液体中を任意に移動可能な砥粒により被加工物面を加工して精密な加工面を得る。
請求項（抜粋）：
加工用定盤表面に被加工物を載置し、加工用定盤と被加工物とを相対的に摺動させて加工物面を研磨する研磨方法において、砥粒を固形化させて前記加工用定盤を形成し、該加工用定盤面に液体を供給させながら被加工物との相対的摺動を行なう工程と、前記液体の供給を遮断し、前記加工用定盤と被加工物との相対的摺動を続ける工程と、を具備する研磨方法。
IPC (3件)：
B24B 37/04
, B24B 7/22
, B24B 37/00
