特許
J-GLOBAL ID：200903083459276198
干渉計測装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-210799
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034318
出願日： 1992年07月14日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】 雰囲気気体中で可干渉性の光ビームを用いて相対変位する2部材間の変位を検出する際に、その気体の屈折率の変化に伴う波長補正を正確に行う。【構成】 干渉屈折率計のレーザビームB2のパスから測定用干渉計のレーザビームA2のパスまでを送風ダクト24で覆い、温調器21及び送風ファン22により送風された雰囲気気体をその送風ダクト24の内部を通して、レーザビームA2に沿って移動ステージ5のコーナーキューブ2の方向に導く。
請求項（抜粋）：
可干渉性の第1の光ビームを所定の計測方向に向かう測定ビームと参照ビームとに分ける第1の光分割手段と、前記所定の計測方向に前記第1の光分割手段に対して相対変位自在に配置され、前記測定ビームを反射する測定用反射手段と、前記参照ビームを反射する参照用反射手段と、前記測定用反射手段に反射された前記測定ビームと前記参照用反射手段に反射された前記参照ビームとの干渉ビームを光電変換する第1の光電変換手段と、可干渉性の第2の光ビームを主ビームと前記測定ビームが通過する雰囲気気体と同じ雰囲気気体が流通する領域を通過する副ビームとに分離する第2の光分割手段と、前記主ビームが通過する領域に配置され外界と隔離された密閉空間を有すると共に、前記主ビームが通過する部分が光透過性の密閉容器と、該密閉容器を通過した後の前記主ビームと前記副ビームとの干渉ビームを光電変換する第2の光電変換手段と、該第2の光電変換手段の出力信号より前記計測ビームが通過する領域の雰囲気気体の屈折率の変化に対応する値を求める屈折率演算手段と、前記副ビームの通過領域から前記測定ビームが通過する領域の前記第1の光分割手段寄りの部分までを覆う送風ダクトと、前記測定ビームが通過する領域の雰囲気気体と同一の温度調節された気体を、前記送風ダクトを介して前記所定の計測方向に沿って前記測定用反射手段の方向に送風する送風手段と、前記第1の光電変換手段の出力信号、前記屈折率演算手段により算出された値、前記送風手段より送風される前記雰囲気気体の風速及び前記測定ビームのおおまかな光路長より前記測定用反射手段と前記参照用反射手段との相対変位を算出する変位演算手段とを有する事を特徴とする干渉計測装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
