特許

J-GLOBAL ID：200903083462294741

移動ステージ装置

発明者： 村田 憲昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079305
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243316
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 ステージ移動中のミラーの弾性振動を抑制し、レーザ干渉計によるより精密な位置計測および位置決めを可能にする。【解決手段】 所定の基準面に沿って移動自在である保持盤2と、該保持盤の位置を計測光Mによって計測する位置計測手段3と、前記保持盤上に載置され前記計測光を反射するミラー1を有する移動ステージ装置において、ミラー1に軽量化のための穴を設ける。

請求項（抜粋）：

所定の基準面に沿って移動自在である保持盤と、該保持盤の位置を計測光によって計測する位置計測手段と、前記保持盤上に載置され前記計測光を反射するミラーを有する移動ステージ装置において、前記ミラーに軽量化のための穴を設けたことを特徴とする移動ステージ装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G01B 11/00 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 移動ステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-271245   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平3-131442