特許
J-GLOBAL ID:200903083462981188
ダイヤフラム式流量調整弁
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三宅 景介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-323377
公開番号(公開出願番号):特開平10-153268
出願日: 1996年11月20日
公開日(公表日): 1998年06月09日
要約:
【要約】【課題】 ストロークが大きくて流量制御範囲が大きく、流量制御にばらつきが生じることがなく、パーティクルの発生を防止できてクリーン化を達成できるダイヤフラム式流量調整弁を提供する。【解決手段】 弁箱1の弁座面にダイヤフラム6をシリンダー12の上室に装入されたスプリング17により付勢されるピストン14により押し当てて弁箱内部を流れる流体を遮断するノーマル・クローズタイプのダイヤフラム弁に於いて、ダイヤフラム6を、中央の弁体6aと、弁体6aの周囲に一体に形成した環状薄膜部6bと、環状薄膜部6bの周囲に一体に形成した筒状保持部6cとにより構成すると共に、環状薄膜部6bを断面上向き球面状に曲成し、且つ内周の付根部を前記弁体6aの上面にほぼ垂直に接続し、外周の付根部を筒状保持部6cの内周面上縁にほぼ垂直に接続し、このダイヤフラム6の中央の弁体6aの下面中央部に流体通路に押入されるテーパピン9を設けてなる。
請求項(抜粋):
弁箱の弁座面にダイヤフラムをシリンダーの上室に装入されたスプリングにより付勢されるピストンにより押し当てて弁箱内部を流れる流体を遮断するノーマル・クローズタイプのダイヤフラム弁に於いて、前記ダイヤフラムを、中央の弁体と、その弁体の周囲に一体に形成した環状薄膜部と、その環状薄膜部の周囲に一体に形成した筒状保持部とにより構成すると共に、前記環状薄膜部を断面上向き球面状に曲成し、且つ内周の付根部を前記弁体の上面にほぼ垂直に接続し、外周の付根部を前記筒状保持部の内周面上縁にほぼ垂直に接続し、このダイヤフラムの中央の弁体の下面中央部に流体通路に挿入されるテーパピンを設けてなるダイヤフラム式流量調整弁。
IPC (3件):
F16K 7/17
, F16K 1/38
, F16K 31/126
FI (4件):
F16K 7/17 B
, F16K 7/17 Z
, F16K 1/38 Z
, F16K 31/126 Z
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