感光性組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-156826
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003165
出願日： 1996年06月18日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】感度及び解像度に優れ、ポジ画像の形成に好適な化学増幅型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 ?@下記式(1)又は(2)で表されるモノマー単位を有する高分子重合体及び該重合体のアルカリ溶液に対する溶解性を低下せしめる化合物を含有する感光性組成物、?A親水性基を有するポリウレタン樹脂、親水性基を有するポリエステル樹脂及び親水性基を有するポリアミド樹脂から選ばれる少なくとも1種及び該樹脂のアルカリ溶液に対する溶解性を低下する化合物を含有する感光性組成物。〔式中、X1及びX2は2価の連結基を、Yは水素又はカルボキシル基を、Zは水素、アルキル基又はカルボキシル基を、Rは水素、脂肪族基又は芳香族基を、m及びnは0又は1を表す。〕

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)又は(2)で表されるモノマー単位を有する高分子重合体及び該重合体のアルカリ溶液に対する溶解性を低下せしめる化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】〔式中、X1及びX2は2価の連結基を、Yは水素又はカルボキシル基を、Zは水素、アルキル基又はカルボキシル基を、Rは水素、脂肪族基又は芳香族基を、m及びnは0又は1を表す。〕

IPC (7件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505 , G03F 7/00 503 , G03F 7/032 , G03F 7/033 , G03F 7/039

FI (7件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , G03F 7/004 505 , G03F 7/00 503 , G03F 7/032 , G03F 7/033 , G03F 7/039

前のページに戻る