特許
J-GLOBAL ID：200903083467009387
走査電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-079008
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270241
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】 曲がった光軸の光学系を利用し、かつ2次収差の発生を抑えてSEM像を得るとともに、真空度の異なる室を真空度を分離して連結する。【解決手段】 走査電子顕微鏡の電子銃と対物レンズの間に中心面に対して対称な多重プリズム連鎖を設置し、多重プリズム連鎖により、電子ビームの軌道を曲げて試料へ照射するとともに、試料から放出される2次電子を前記電子ビームの軌道から分離して取り出して検出し、また、連続曲面を有するパイプによって電子銃室と試料室を分離し、中間に真空ポンプによる真空引き口を備えて真空引きするようにしたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡の電子銃と対物レンズの間に中心面に対して対称な多重プリズム連鎖を設置し、該多重プリズム連鎖により、電子ビームの軌道を曲げて試料へ照射するとともに、試料から放出される2次電子を前記電子ビームの軌道から分離して取り出し、検出するようにしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/147
, H01J 37/256
H01J 37/147 B
, H01J 37/256
