特許

J-GLOBAL ID：200903083468106629

弾性表面波装置

発明者： 高木 道明
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-327644
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183760
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 従来のLSTカットSAW共振子は、電極膜厚を薄く形成してQ値を確保する必要があったため、SAW共振子のIDT対数と反射器導体本数を多くする必要性から共振子サイズが大きかった。そこで、これを小型化して、かつ周波数温度特性を従来品と同等にする。【構成】 電極膜厚H対漏洩弾性表面波の波長λの比H/λ比を1から3%としたいわゆるエネルギー閉込型1ポートSAW共振子に於て、水晶ウエハーのカットアングルθを+16から18.5度の範囲のX伝播波を用いた上で、前記H/λとθの組み合せを適切に選択して周波数温度特性の1次温度係数αをほぼ零としたことを特徴とする弾性表面波装置。

請求項（抜粋）：

水晶単結晶の電気軸を+X軸、光軸を+Z軸、前記+Xと+Z軸に直交して機械軸を+Y軸として右手系で直交座標系を構成した上で、前記+X軸回りに反時計方向に+16度から+18.5度の角度範囲で回転して得られる水晶ウエハー上に、伝播方向が+X軸±10度に平行な漏洩弾性表面波を励振するIDTと、その両側に1対の反射器を1組以上構成したことを特徴とする弾性表面波装置。