板状試料の流体処理装置及び板状試料の流体処理方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：石戸久子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-152334
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334397
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】洗浄時間の短縮、洗浄液の低減及び洗浄ムラの抑制を行うことができるようにする。【解決手段】上下ベルヌーイ板12及び14の裏面に、これらの全面に渡って設けられる金属板25を介して渦巻き状に循環パイプ24をそれぞれ設け、この循環パイプ24に加熱媒体及び冷却媒体を循環させて上下ベルヌーイ板12及び14を急熱及び急冷することができるようにするとともに、洗浄時には、上下ベルヌーイ板12及び14を挟ギャップでかつこれらとウェハ16との間のギャップが同じ大きさになるように配置する。

請求項（抜粋）：

上ベルヌーイ板と下ベルヌーイ板を平行に設け、これら上下ベルヌーイ板の面と平行に対面するように板状試料を配置し、該試料の少なくとも上面に処理液を噴出しつつ、少なくとも上ベルヌーイ板と試料とを相対的に回転させて試料の処理を行う板状試料の流体処理装置において、少なくとも前記上ベルヌーイ板と試料の表面とのギャップが0.2〜2mmの挟ギャップで配置され、該上下ベルヌーイ板には、熱媒体又は冷却媒体を供給することにより該上下ベルヌーイ板を加熱又は冷却する流路が設けられていることを特徴とする板状試料の流体処理装置。

IPC (3件)：

B08B 3/02 , B08B 3/10 , H01L 21/304 643

FI (3件)：

B08B 3/02 C , B08B 3/10 Z , H01L 21/304 643 A

Fターム (8件)：

3B201AA03 , 3B201AB23 , 3B201AB34 , 3B201AB44 , 3B201BB24 , 3B201BB82 , 3B201BB92 , 3B201CB01

前のページに戻る