特許
J-GLOBAL ID:200903083474071977

圧電型振動センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-005465
公開番号(公開出願番号):特開平7-209071
出願日: 1994年01月21日
公開日(公表日): 1995年08月11日
要約:
【要約】【目的】 製造が容易で、焦電性による出力の大幅な低減が可能であり、かつ小型化が可能な圧電型振動センサの提供。【構成】 台座3上に、圧電体7の両面に電極を設けた検知部5を剛に取り付け、さらにこ検知部5の一方の電極は二つに分割された分割電極a1、a2で、これら二つの分割電極a1、a2の形状はこれら分割電極を分割する線分を対称の中心とする線対称であり、検知部5の他方の電極は分割されていない共通電極bであり、二つの分割電極a1、a2は共通電極bを介して電気的に直列に接続されており、荷重体9の形状は該荷重体9を上記線分に対して上方から投影したとき上記線分を対称の中心とする線対称であり、検知軸は検知部5の電極面と平行で、かつ上記線分に垂直な方向であり、センサの出力は二つの分割電極a1、a2のそれぞれと共通電極bとの間に生じる電荷量あるいは電位差の和として得られる圧電型振動センサ。
請求項(抜粋):
台座上に、圧電体の両面に電極を設けた検知部を剛に取り付け、さらにこの検知部上に荷重体を剛に取り付けてなる圧電型振動センサにおいて、検知部の一方の電極は二つに分割された分割電極で、これら二つの分割電極の形状はこれら分割電極を分割する線分を対称の中心とする線対称であり、検知部の他方の電極は分割されていない共通電極であり、前記二つの分割電極は前記共通電極を介して電気的に直列に接続されており、前記荷重体の形状は該荷重体を前記線分に対して上方から投影したとき前記線分を対称の中心とする線対称であり、検知軸は検知部の電極面と平行で、かつ前記線分に垂直な方向であり、センサの出力は前記二つの分割電極のそれぞれと共通電極との間に生じる電荷量あるいは電位差の和として得られることを特徴とする圧電型振動センサ。
IPC (2件):
G01H 11/08 ,  G01P 15/09

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