インクジェット塗布溶液と乾燥方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-146024
公開番号（公開出願番号）：特開2006-281189
出願日： 2005年04月04日
公開日（公表日）： 2006年10月19日
要約：

【課題】インクジェット塗布法を用いて、ポリイミド配向膜を塗布した後、溶剤を乾燥する時、塗布した領域の最外周部分の膜厚が、異常に厚くなる現象が発生し、液晶パネルのセルギャップの均一性が得らず表示ムラが発生していた。【解決手段】インクジェット塗布法を用いて、ポリイミド配向膜を塗布した後、基板を加熱して溶剤を乾燥するのではなく、基板を冷却し、溶剤を凍結させ真空中で溶剤を昇華させる凍結真空乾燥法を採用した。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

インクジェット塗布方法を用いて基板の局所領域のみに機能性膜を形成する工程において、機能性膜がとけている溶液をインクジェット塗布装置で基板に塗布した後、基板温度を上昇させて塗布液体表面をレベリングさせ平坦化した後、急激に基板を室温以下に冷却し、塗布液体の粘度を上昇させた後、減圧雰囲気で基板を冷却しながら塗布溶液の溶媒を揮発させることを特徴とする局所領域機能性膜形成法。

IPC (6件)：

B05D 3/00 , B05C 5/00 , B05C 9/12 , B05D 1/26 , G02B 5/20 , H05B 3/00

FI (6件)：

B05D3/00 E , B05C5/00 101 , B05C9/12 , B05D1/26 Z , G02B5/20 101 , H05B3/00 330Z

Fターム (48件)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA55 , 2H048BA57 , 2H048BA64 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 3K058AA41 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC88 , 4D075AC93 , 4D075AC96 , 4D075AE04 , 4D075BB18Z , 4D075BB23Y , 4D075BB24Z , 4D075BB25Y , 4D075BB56Z , 4D075CA18 , 4D075CA22 , 4D075CA47 , 4D075CB07 , 4D075DA06 , 4D075DB13 , 4D075DC24 , 4D075EA07 , 4D075EA10 , 4D075EB39 , 4D075EB42 , 4D075EC07 , 4D075EC24 , 4D075EC25 , 4D075EC30 , 4D075EC52 , 4D075EC53 , 4D075EC54 , 4F041AA05 , 4F041AB01 , 4F041BA34 , 4F042AA06 , 4F042BA06 , 4F042BA19 , 4F042CB07 , 4F042DA08 , 4F042DA09 , 4F042DB48 , 4F042ED03

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