特許

J-GLOBAL ID：200903083482943568

導電性酸化物粉末の製造方法

発明者： 西原 明 ,  林 年治 ,  関口 昌宏
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 広瀬 章一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162197
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021831
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 量産性に優れ、特性が均一で、ばらつきが少ない超微粒・低抵抗導電性酸化物粉末の製造方法。【構成】 2種以上の遷移金属の組合せからなる導電性酸化物の原料 (水酸化物および/または酸化物、好ましくは共沈法で得た含水水酸化物、その乾燥水酸化物および/または酸化物) を、2 kgf/cm2以上の不活性ガス (アルゴン、ヘリウム、窒素等) 密閉加圧雰囲気下、 350〜1000°Cで加熱処理する。【効果】 粒子径0.05μm 以下、体積抵抗率が0.1 Ω・cm以下のITO粉末を量産できる。

請求項（抜粋）：

2種以上の遷移金属の混合水酸化物および/または酸化物からなる出発原料を、圧力2kgf/cm2 以上の密閉した加圧不活性ガス雰囲気下に温度 350〜1000°Cで加熱処理することを特徴とする導電性酸化物粉末の製造方法。

IPC (2件)：

H01B 1/08 ,  H01B 1/00