特許

J-GLOBAL ID：200903083486205332

表面検査方法

発明者： 横山 廣一 ,  鎌田 俊二
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 河野 登夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-143530
公開番号（公開出願番号）：特開平11-337323
出願日： 1998年05月25日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 検査面に存在する欠陥を誤検出することなく容易に検出できる表面検査方法を提供する。【解決手段】 鋼板1の表面を研磨装置2によって所定深さ研磨することで、表面に付着している油及び汚れを除去し、また、研磨された凸部と研磨されていない凹部の表面性状を著しく異ならせることで、凹凸欠陥を誤検出することなく容易に検出可能とさせる。

請求項（抜粋）：

被検査材表面に沿ってこれと相対移動する照射手段及び反射光の受光手段を設け、前記照射手段で被検査材表面を照射し、その反射光を受光手段によって受光し、得られた2次元画像を画像処理手段によって処理し、被検査材表面の反射輝度分布を調べることにより、表面の凹凸欠陥を検査する表面検査方法において、予め、被検査材表面に存在する凹凸欠陥の所定値以上に窪んでいる凹部を残して被検査材表面を研磨することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/89

FI (2件)：

G01B 11/30 E ,  G01N 21/89 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-297172   出願人：三菱電機株式会社, 日本鋼管株式会社