特許
J-GLOBAL ID：200903083490938271
真空ポンプ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小山 輝晃
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-192822
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027089
出願日： 1993年07月07日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：
【要約】【目的】 ターボ分子ポンプの吸気口圧力を低下させ、該ターボ分子ポンプの水素ガス等の排気性能を大巾に改善する。【構成】 補助ポンプ2の吸気側に分子量の大きい窒素ガスを導入する。
請求項（抜粋）：
ターボ分子ポンプに補助ポンプを連結した真空装置において、該補助ポンプの吸気側に、分子量の大きい特定ガスを導入する導入管を接続したことを特徴とする真空ポンプ装置。
引用特許：
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