特許
J-GLOBAL ID:200903083492727480
固体撮像素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野田 茂
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-038086
公開番号(公開出願番号):特開2002-246588
出願日: 2001年02月15日
公開日(公表日): 2002年08月30日
要約:
【要約】【課題】 各垂直転送レジスタの両側に水平転送レジスタを配置し、各垂直転送レジスタ毎に信号電荷を逆方向に転送する固体撮像素子で、チャネルストップ部の電位を固定し、動作の安定化を図る。【解決手段】 垂直転送レジスタ110A、110Bと両側の水平転送レジスタ120A、120Bの間には、チャネルストップ部140につながったレジスタ分離領域150A、150Bが設けられている。また、撮像部の外側にグランド領域170が設けられている。そして、レジスタ分離領域150A、150Bとグランド領域170は、上部配線180によって電気的に接続されている。これにより、各チャネルストップ部140がレジスタ分離領域150A、150B及び上部配線180を介してグランド領域170に接続され、チャネルストップ部140の電位がグランド領域170の電位によって固定される。
請求項(抜粋):
半導体基板にマトリクス状に配列された複数の受光部と、前記受光部の各列に沿って配列された複数の垂直転送レジスタと、前記垂直転送レジスタの両端部に沿って設けられた複数の水平転送レジスタと、各列の受光部及び垂直転送レジスタの間を分離するチャネルストップ部とを設け、各垂直転送レジスタが所定列おきに信号電荷を逆方向に転送し、それぞれの転送方向に配置された水平転送レジスタに送出するようにした固体撮像素子であって、前記半導体基板の各受光部、垂直及び水平転送レジスタを配置した領域の外部領域に半導体基板の基準電位を得るための基準電位領域を有するとともに、前記半導体基板の各垂直転送レジスタと水平転送レジスタとの境界領域に前記チャネルストップ部と接続されたレジスタ分離領域を有し、前記基準電位領域とレジスタ分離領域とを上部配線によって接続した、ことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (5件):
H01L 29/762
, H01L 21/339
, H01L 21/76
, H01L 27/148
, H04N 5/335
FI (5件):
H04N 5/335 F
, H04N 5/335 U
, H01L 29/76 301 A
, H01L 21/76 S
, H01L 27/14 B
Fターム (14件):
4M118AA10
, 4M118AB01
, 4M118BA13
, 4M118FA26
, 4M118FA44
, 4M118FA50
, 5C024GY01
, 5C024GZ04
, 5C024JX21
, 5F032AC01
, 5F032BA01
, 5F032BA08
, 5F032BB08
, 5F032CA21
引用特許:
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