特許
J-GLOBAL ID：200903083493348670
物体観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶原 康稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-119726
公開番号（公開出願番号）：特開平9-281402
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年10月31日
要約：
【要約】【課題】 光学系に残留する位相の回転を除去するとともに、任意の照明系の開口絞りの大きさで理想的なコントラストの微分干渉像を観察する。【解決手段】 直交する偏光方向の光EO,OEの位相差が、ポラライザ10,1/4波長板12によって調整され、ノマルスキープリズム14でシャーして物体に照射される。物体を透過又は反射した光は、ノマルスキープリズム20で合成され、更に偏光ビームスプリッタ22によって可干渉な偏光成分が取り出される。得られた第1,第2の方向の可干渉な偏光成分の第1,第2の画像に対し、強度比の調整が行われ、更にそれらの差信号から微分干渉像が得られる。これにより、光学系の残留位相の回転が除去され、理想的なコントラストの微分干渉像が任意の開口絞りの大きさで観察可能となる。
請求項（抜粋）：
物体を照明するための光を供給する照明手段;これによって供給された光のうち、直交する第1及び第2の偏光方向の光の位相差を調整するための位相差調整手段;これによって位相差が調整された第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光の光軸を相対的にシャーして観察対象の物体に照射する光分離手段;物体を透過又は反射した前記第1の偏光方向の光と第2の偏光方向の光を合成する光合成手段;この光合成手段から供給された光から、第1及び第2の異なる方向において可干渉な偏光成分をそれぞれ得るためのフィルタ手段;これによって得られた第1及び第2の方向の可干渉な偏光成分に基づいて第1及び第2の画像を得る撮像手段;これによって得られた第1及び第2の画像に対し、強度調整を行って微分干渉像を得る演算手段;を備えたことを特徴とする物体観察装置。
IPC (7件)：
G02B 21/24
, G01B 9/02
, G01B 11/00
, G01N 21/21
, G01N 21/84
, G01N 21/88
, G02B 21/00
G02B 21/24
, G01B 9/02
, G01B 11/00 G
, G01N 21/21 Z
, G01N 21/84 D
, G01N 21/88 E
, G02B 21/00
