特許

J-GLOBAL ID：200903083494952554

合成石英ガラス部材の製造方法

発明者： 大塚 久利 ,  代田 和雄 ,  滝田 政俊
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-091555
公開番号（公開出願番号）：特開平7-291635
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はOH基を 50ppm以上、フッ素を1,000ppm以上含有することからArFエキシマレーザーを光源とする紫外線領域の光学素材用途に使用することができ、放射線などのファイバーに有用とされる合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、塩素を含有しないシラン化合物の少なくとも1種と塩素を含有しないフッ素化合物の少なくとも1種の混合物を、酸水素火炎中に導入して多孔質シリカ焼結体を形成し、これを真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱溶融してガラス化するフッ素含有合成石英ガラス部材の製造方法において、供給するシラン化合物とフッ素化合物との混合比をフッ素原子/(けい素原子+フッ素原子)比で10〜40モル%の範囲とし、シリカ焼結体形成時に生成するシリカ粒子の単位重量部当りの受熱量が単位時間当り20kcal/g・時以上となるようにすることを特徴とするものである。

請求項（抜粋）：

塩素を含有しないシラン化合物の少なくとも1種と塩素を含有しないフッ素化合物の少なくとも1種の混合物を、酸水素火炎中に導入して多孔質シリカ焼結体を形成し、これを真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱溶融してガラス化するフッ素含有合成石英ガラス部材の製造方法において、供給するシラン化合物とフッ素化合物との混合比をフッ素原子/(けい素原子+フッ素原子)比で10〜40モル%の範囲とし、シリカ焼結体形成時に生成するシリカ粒子の単位重量部当りの受熱量が単位時間当り20kcal/g・時以上となるようにすることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 6/00 356