固定砥粒ワイヤソーのドレッシング方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-179510
公開番号（公開出願番号）：特開平11-028654
出願日： 1997年07月04日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】固定砥粒付ワイヤの目詰まりを効果的に防止し、高精度な切断を可能とする固定砥粒ワイヤソーのドレッシング方法及び装置の提供。【解決手段】インゴット30を切断するワイヤ列20にドレッシングストーン34A、34Bを押し当て、そのワイヤ列20でドレッシングストーン34A、34Bを切断する。ワイヤ列20を構成する固定砥粒付ワイヤ12は、前記ドレッシングストーン34A、34Bを切断することによりドレッシングされ、これにより、常に良好な切れ味を維持することができる。

請求項（抜粋）：

表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、該ワイヤ列を走行させながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、ドレッシングストーンを前記グルーブローラ間のワイヤ列に押し当てて前記固定砥粒付ワイヤをドレッシングすることを特徴とする固定砥粒ワイヤソーのドレッシング方法。

IPC (4件)：

B24B 27/06 , B24B 53/00 , B28B 5/04 , B28D 1/08

FI (4件)：

B24B 27/06 , B24B 53/00 J , B28B 5/04 , B28D 1/08

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