特許

J-GLOBAL ID：200903083499826115

低表面張力硫酸組成物

発明者： 田中 啓之 ,  迫 直樹 ,  大村 恭弘
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-000806
公開番号（公開出願番号）：特開平6-199504
出願日： 1993年01月06日
公開日（公表日）： 1994年07月19日
要約：

【要約】【構成】 一般式(I)【化1】(式中、Rは脂環式フルオロアルキル基を、Xは水素原子またはフッ素原子を、nは0〜3の整数、Aは水素原子またはNH4 を表す。)で示されるフルオロアルキルスルホン酸もしくはそのアンモニウム塩よりなるフッ素系界面活性剤を硫酸中に含有してなる低表面張力硫酸組成物。【効果】 本発明によれば、低表面張力にてシリコンウエハの洗浄性が良好で、かつ洗浄後の界面活性剤のシリコン表面への残留による後工程への悪影響が少ない硫酸組成物を提供でき、高集積回路の工業生産上利するところ大である。

請求項（抜粋）：

一般式(I)【化1】(式中、Rは脂環式フルオロアルキル基を、Xは水素原子またはフッ素原子を、nは0〜3の整数、Aは水素原子またはNH4 を表す。)で示されるフルオロアルキルスルホン酸もしくはそのアンモニウム塩よりなるフッ素系界面活性剤を硫酸中に含有してなる低表面張力硫酸組成物。

IPC (6件)：

C01B 17/69 ,  B01F 17/02 ,  C11D 7/08 ,  C23F 1/16 ,  C23G 1/02 ,  H01L 21/304 341

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平2-240285
  
• 特開昭61-266581
  
• 特開昭55-107782