特許

J-GLOBAL ID：200903083500730240

非晶質膜および非晶質膜の製造方法

発明者： 富田 雅人 ,  林 孝好
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 高山 敏夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-296243
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110408
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】【目的】 電気、電子材料、機械材料、その他化学工業材料に用いられる非晶質膜とその製造方法を提供すること。【構成】 単一元素または複合元素からなる非晶質またはグラッシーまたは多孔質膜を主成分物質とし、その主成分物質と同一または異なる成分からなり、かつ主成分物質と反応しにくい異物分子または異物超微粒子が混在する非晶質膜。

請求項（抜粋）：

単一元素または複合元素からなる非晶質またはグラッシーまたは多孔質膜を主成分物質とし、その主成分物質と同一または異なる成分からなり、かつ主成分物質と反応しにくい異物分子または異物超微粒子が混在することを特徴とする非晶質膜。

IPC (7件)：

C01B 31/02 101 ,  C01B 31/36 ,  C01B 33/02 ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/263

FI (7件)：

C01B 31/02 101 Z ,  C01B 31/36 A ,  C01B 33/02 D ,  H01L 21/20 ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/263

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 微細物質の固定ならびに電極形成法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-035071   出願人：日本電気株式会社
• 炭素クラスター含有硬質膜の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-248851   出願人：住友大阪セメント株式会社
• フラーレンおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-021717   出願人：新技術事業団, 田中俊一郎