特許
J-GLOBAL ID：200903083503433689
走査型分析顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-143969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-343023
出願日： 1992年06月04日
公開日（公表日）： 1993年12月24日
要約：
【要約】【目的】 試料或いは針先端からの発光現象を高分解能で効率良く低雑音で捕らえ、これにより、試料の元素構成とその分布、さらには電子状態と結晶構造等を観察すること。【構成】 図1に示したように半導体ウィスカ-中に形成された微小なpn接合をもつ検出部をSTM或いはTAM等の探針として使用する。【効果】 探針先端或いはそれに向き合う試料微小部からの発光を高分解能で効率良く低雑音で捕らえることができる。
請求項（抜粋）：
試料表面上を針で走査するための走査機構と、該針と該試料との間の物理現象を計測する計測器と、該計測器からの情報にもとづき該針と該試料との間隔を制御する制御機構と、該走査機構の信号に対応して該針の位置或いは該計測器の出力信号を表示する表示部よりなる計測装置において、該針の先端部にpn接合部を有する半導体検出器を設けたことを特徴とする走査型分析顕微鏡。
引用特許：
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