特許
J-GLOBAL ID：200903083507595632
非対称剛性構造を有する光経路変換アクチュエータ及びその駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228108
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153761
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 入射光の入射経路と反射光の傾斜角を簡単に調節でき、一つの駆動電極により駆動回路を簡単に構成でき、信頼性を増大させうる非対称剛性構造を有する光経路変換アクチュエータ及びその駆動方法を提供する。【解決手段】 カバーの内部に基板が設けられ、基板の上部面には第1電極及びこの間に置かれる駆動電極がそれぞれ蒸着され、第1電極の上部には第1電極から印加された電圧が通電されるよう一対の支持台と入射光を反射させるためのプレート及びプレートのそれぞれに一端が連結され入射光の入射経路及び傾斜角を調節するための非対称部が蒸着される。プレートを非対称に傾ける。
請求項（抜粋）：
カバーの内部に設けられる基板と、前記基板の上部面にそれぞれ蒸着された一対の電極と、前記一対の電極の間に置かれる駆動電極と、第1電極の上部にそれぞれ蒸着され前記第1電極から印加された電圧が通電される一対の支持台と、前記支持台の間に置かれ光源から入射される入射光を反射させるためのプレートと、前記支持台とプレートのそれぞれに連結され前記入射光の入射経路及び傾斜角を調節するための剛性係数の相異なる第1及び第2バネを備えることを特徴とする非対称剛性構造とを有する光経路変換アクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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