特許

J-GLOBAL ID：200903083508814494

光デイスク用基板の表面に付着した塵や埃の除去方法

発明者： 宮下 英生 ,  塚田 雅一
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社 ,  日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-154564
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002781
出願日： 1991年06月26日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：

【要約】【目的】 光ディスク用基板に付着している細かい塵や埃を完全に除去する。【構成】 光ディスク用基板を高速回転させながら光ディスク用基板の極近傍で圧縮気体を連続的に光ディスク用基板全面にわたって吹き付ける。【効果】 光ディスク用基板を高速回転させることにより、該光ディスク用基板の表面に高速度の気流を生じさせ、さらに光ディスク用基板の極近傍で圧縮気体を連続的に光ディスク用基板全面にわたって吹き付けるので、高速度気流と連続的に吹き出される圧縮気体との相互作用により、光ディスク用基板に付着している細かい塵や埃が吹き飛ばされ、さらに吹き飛ばされた細かい塵や埃は、高速度気流に妨げられるために、再度光ディスク用基板に付着することを防止することができる。

請求項（抜粋）：

光ディスク用基板の表面に付着した塵又は埃を圧縮気体を吹き付けて除去する方法において、該光ディスク用基板を高速回転させながら該光ディスク用基板の極近傍で圧縮気体を連続的に該光ディスク用基板全面にわたって吹き付けることを特徴とする光ディスク用基板の表面に付着した塵又は埃の除去方法。