特許
J-GLOBAL ID：200903083509018926
酸化物単結晶の製造装置および酸化物単結晶の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-285167
公開番号（公開出願番号）：特開平5-117083
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 安価で作業性に優れ、かつIr製るつぼの使用を可能にすると共に、Pt製るつぼや Pt-Rh製るつぼの減量を抑制することを可能にした酸化物単結晶の製造装置および製造方法を提供する。【構成】 石英管31は水冷機構を有する下部チャンバ32で気密に支持されている。石英管31内には、酸化物単結晶原料が収容される貴金属製るつぼ38が配置される。石英管31の周囲は、加熱用ヒータ34によって囲繞されている。石英管31の上端部は、着脱可能な上部チャンバ43で気密にシールする。この状態で、石英管31内を真空排気すると共に不活性気体を供給する。不活性気体を供給しつつ上部チャンバ43を取り除き、不活性気体を供給しながら酸化物単結晶原料48の溶融および引き上げを行う。
請求項（抜粋）：
石英管と、水冷機構を有しかつ前記石英管を気密に支持する下部チャンバと、前記石英管内に配置され酸化物単結晶原料が収容される貴金属製るつぼと、前記石英管を囲繞するように配置された加熱用ヒータと、前記石英管の上端部を気密にシールすると共に着脱可能な上部チャンバと、前記貴金属製るつぼの上方に配置された引上げ部と、前記石英管内を真空排気する排気系と、前記真空排気後の石英管内に不活性気体を供給する気体供給系とを具備し、前記気体供給系から不活性気体を供給しつつ前記上部チャンバを取り除き、前記酸化物単結晶原料の溶融および引き上げを行うよう構成したことを特徴とする酸化物単結晶の製造装置。
IPC (3件)：
C30B 27/02
, C30B 15/00
, C30B 29/30
