特許

J-GLOBAL ID：200903083515276066

廃水リサイクルシステム

発明者： 岡本 明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-147004
公開番号（公開出願番号）：特開平9-327689
出願日： 1996年06月10日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】めっき等の表面処理工場で、設備、表面処理液、廃水などの監視、再利用を行い、廃水を冷凍し、不純物を含まない氷と有害物等を含む無機及び有機物が濃縮された廃液とに分離し、融解した水を空調や装置等の冷却水や加工部品等の洗浄水として用い、廃水のリサイクルを可能にする。【解決手段】めっき工程1とエッチング工程2とその他基板洗浄工程等が三工程あり、これらの設備の運転状態を監視する運転監視盤4と総合的な廃水処理を行う廃水処理設備6と回収した再生水を工場内に供給する再生水リサイクル設備7等からなる。

請求項（抜粋）：

被処理品を、表面処理や洗浄等を行う工場において、上記処理品の表面処理装置や洗浄装置等から排出される廃水を再利用可能な水質に再生し、上記処理水を工場内でリサイクルする廃水処理システムと、上記廃水処理システム及び上記処理品の表面処理装置や洗浄設備等の運転状態の情報を集約し、上記集約した各データに基づいて、廃水処理システム及び上記処理品の表面処理装置と洗浄設備等とを有機的かつ総合的に監視する運転状態監視システムからなることを特徴とする工場の廃水リサイクルシステム。

IPC (8件)：

C02F 1/22 ,  B01D 61/02 500 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/78 ,  C04B 18/04 ,  H01L 21/304 341

FI (8件)：

C02F 1/22 C ,  B01D 61/02 500 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/42 A ,  C02F 1/44 K ,  C02F 1/78 ,  C04B 18/04 ,  H01L 21/304 341 S