特許

J-GLOBAL ID：200903083516435656

エキシマレーザ装置のエネルギー制御装置

発明者： 高橋 知和 ,  坂西 昇一 ,  半井 宏明
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 橋爪 良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-367133
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191651
出願日： 1997年12月25日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 バースト運転モードでのパルス発振において、エネルギー目標値の変更に対する追従性を向上し、各パルスエネルギーを一定に制御する。【解決手段】 所定時間の連続パルス発振と休止とを交互に繰り返すバースト運転モードでパルス発振するとき、各連続パルス発振の初期は学習制御を行い、学習制御後は毎パルス制御を行い、前記学習制御時は、発振開始からi番目のパルス発振の際に、前回の連続パルス発振時のi番目パルスの発振結果に基づいて今回の電圧指令値Viを演算し、前記毎パルス制御時は、同一回連続パルス発振内の直前の発振結果に基づいて今回の電圧指令値VIを演算してパルス発振させる出力制御部10を備え、パルスエネルギーを制御するエキシマレーザ装置のエネルギー制御装置において、前記出力制御部10は、前記目標値Edの変更量に基づいて学習制御時及び毎パルス制御時に電圧指令値Vi,VIを補正する。例えば、今回の目標値Edと基準値E0にそれぞれ対応する両電圧指令値間の差値に応じた電圧補正値ΔVを電圧指令値Vi,VIに加算して補正する。

請求項（抜粋）：

所定時間の連続パルス発振と所定時間の休止とを交互に繰り返すバースト運転モードでパルス発振するとき、各連続パルス発振の初期の所定数のパルス発振に対して学習制御を行い、この学習制御の後は毎パルス制御を行い、前記学習制御時は、発振開始からi番目のパルス発振の際に、前回の連続パルス発振時のi番目パルスの電圧指令値(Vi)、及び、エネルギー目標値(Ed)とこのi番目の電圧指令値(Vi)に対応して発振したパルスのエネルギー計測値(E) との偏差値に応じて、今回のi番目の電圧指令値(Vi)を演算して出力し、また前記毎パルス制御時は、発振開始からI番目のパルス発振の際には、同一回の連続パルス発振内でのI-1番目のパルス発振の電圧指令値(VI-1)、及び、エネルギー目標値(Ed)とこのI-1番目の電圧指令値(VI-1)に対応して発振したパルスのエネルギー計測値(E) との偏差値に応じて、今回のI番目の電圧指令値(VI)を演算して出力し、パルス発振させる出力制御部(10)を備え、前記電圧指令値(Vi),(VI)に基づいて放電電圧を制御してレーザのパルスエネルギーを制御するエキシマレーザ装置のエネルギー制御装置において、前記出力制御部(10)は、前記エネルギー目標値(Ed)の変更量に基づいて前記学習制御時及び毎パルス制御時に前記電圧指令値(Vi),(VI)を補正して出力することを特徴とするエキシマレーザ装置のエネルギー制御装置。

IPC (3件)：

H01S 3/134 ,  B23K 26/00 ,  H01S 3/225

FI (3件)：

H01S 3/134 ,  B23K 26/00 N ,  H01S 3/223 E