特許

J-GLOBAL ID：200903083525289549

静電チャック用セラミックス及びその製造用組成物

発明者： 多賀 直昭 ,  木田 音次郎 ,  篠原 伸広
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-041359
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月10日
要約：

【要約】【目的】静電チャック用材料として好適な体積固有抵抗、機械的強度及び熱的な安定性を具備し、汚染の原因となる成分を含まない材料を提供する。【構成】10μm以下のアルミナと金属Siの粉末を原料とする、アルミナを主成分とし、マトリックス中に金属Siを0.175〜11.4重量%含み、かつ体積固有抵抗が1010〜1013Ω・cmであるセラミックス焼結体を使用する。

請求項（抜粋）：

アルミナを主成分とするマトリックス中に金属Siを含む焼結体であり、体積固有抵抗が1010〜1013Ω・cmであることを特徴とする静電チャック用セラミックス。

IPC (2件)：

C04B 35/111 ,  H01L 21/68