特許

J-GLOBAL ID：200903083525677670

双方向性結合器を有するRF整合検出回路

発明者： ブラッドリー オー スティムソン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211833
公開番号（公開出願番号）：特開平9-121105
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】RF電源からRF信号を受信し、その電力信号を負荷へ供給するRF整合回路を自動制御する検出回路を得ること。【解決手段】RF整合回路36は第1と第2の制御信号によってそれぞれ制御される第1と第2の可変リアクタンス素子C1,C2 を含む。検出回路32は、整合回路へ供給されたRF電力に比例する順信号とRF整合回路から反射されたRF電力に比例する反射信号を発生する双方向結合器50を含む。検出回路は反射信号或いは順信号をを受信し、それぞれ第1と第2の出力信号を生成する第1と第2の分岐回路も含む。更に、検出回路は第1と第2の分岐回路の第1の出力信号を受信し、第1の制御信号が誘導される第1の位相検出出力信号を生成する第1の位相検出器64、および第1と第2の分岐回路の第2の出力信号を受信し、第2の制御信号が誘導される第2の位相検出出力信号を生成する第2の位相検出器68を含む。

請求項（抜粋）：

RF電源からRF電力信号を受信し、前記RF電力信号を負荷へ供給するRF整合回路を制御するための検出回路であって、前記RF整合回路は第1の可変リアクタンス素子と第2の可変リアクタンス素子を有し、前記第1の可変リアクタンス素子の可変リアクタンスは第1の制御信号によって制御され、前記第2の可変リアクタンス素子の可変リアクタンスは第2の制御信号によって制御される検出回路において、前記検出回路は、前記RF電源に接続するための入力と前記RF整合回路に接続するための出力を有する双方向性結合器であって、前記RF整合回路に供給されたRF電力に比例する順方向信号と前記RF整合回路から反射されたRF電力に比例する反射信号を発生する双方向性結合器と、前記反射信号を受信し、第1および第2の出力信号を生成する第1の分岐回路と、前記順方向信号を受信し、第1および第2の出力信号を生成する第2の分岐回路と、前記第1および第2の分岐回路の第1の出力信号を受信し、前記第1の制御信号が誘導される第1の位相検出出力信号を生成する第1の位相検出器と、前記第1および第2の分岐回路の第2の出力信号を受信し、前記第2の制御信号が誘導される第2の位相検出出力信号を生成する第2の位相検出器とを有することを特徴とする検出回路。