特許

J-GLOBAL ID：200903083526788930

投影光学系およびその結像特性調整方法並びに投影露光装置

発明者： 真崎 和生
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144131
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331923
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 圧電素子のストローク低下を防止する。【解決手段】 複数の光学素子26〜29間に配置され、印加された電圧に基づき変位して光学素子26〜29間の距離を増減する圧電素子33a〜33c、34a〜34cと、圧電素子33a〜33c、34a〜34cに正電圧および負電圧を印加する電圧印加装置35と、圧電素子33a〜33c、34a〜34cの変位に対するヒステリシス特性に基づいて電圧印加装置35による印加電圧を制御する制御装置36とを備える。

請求項（抜粋）：

複数の光学素子間に配置され、印加された電圧に基づき変位して前記光学素子間の距離を増減する圧電素子と、該圧電素子に正電圧および負電圧を印加する電圧印加装置と、前記圧電素子の変位に対するヒステリシス特性に基づいて前記電圧印加装置による印加電圧を制御する制御装置とを備えることを特徴とする投影光学系。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 516 A ,  G03F 7/207 H

Fターム (14件)：

5F046BA03 ,  5F046CA02 ,  5F046CA04 ,  5F046CA07 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC05 ,  5F046CC16 ,  5F046DA13 ,  5F046DB01 ,  5F046DC01 ,  5F046DC12