特許

J-GLOBAL ID：200903083527190230

感光性組成物

発明者： 佐々木 充 ,  上村 次郎 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233241
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072730
出願日： 1991年09月12日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：

【要約】【構成】 感光性組成物で、キノンジアジド化合物、アルカリ可溶性樹脂、露光により酸を生成する化合物、p-アミノアゾベンゼン骨格を有し、吸収の最大波長λmax が450nm以下の化合物、及び、吸収の最大波長λmax が550nm以上650nm以下の現像可視画剤を少なくとも含有することを特徴とする。【効果】 本発明の感光性組成物を用いることにより、露光可視画性、及び、現像可視画性が同時に優れたポジ型感光性平版印刷版やフォトレジスト等を得ることができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも(a)キノンジアジド化合物、(b)アルカリ可溶性樹脂、(c)露光により酸を生成する化合物、(d)p-アミノアゾベンゼン骨格を有し、吸収の最大波長λmax が450nm以下の化合物および(e)吸収の最大波長λmax が550nm以上650nm以下の現像可視画剤を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027