特許
J-GLOBAL ID：200903083527661119
搬送装置のインターロック機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-227404
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107125
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】 スループットを向上でき,かつ,安全性の高い基板搬送装置のインターロック機構を得る。【解決手段】 基板の受け渡しを行うためのアーム27と,アーム27を駆動する駆動ユニットと,駆動ユニットの駆動を制御する制御装置40とを備え,かつ制御装置40は,アーム27の駆動速度が速度に関するしきい値を超えたとき,アーム27の駆動位置のずれが位置ずれに関するしきい値を超えたときの何れかのときに駆動ユニットの駆動を停止させるインターロック機構を備えた搬送装置25,26において,前記速度に関するしきい値,位置ずれに関するしきい値を,搬送装置25,26の通常の稼働時に設定されたしきい値と,アーム27の移動位置を決めるティーチング用に設定されたしきい値とにそれぞれ切換可能に構成したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
被処理体を搬送するための搬送手段を駆動する駆動ユニットと,前記駆動ユニットの動作を制御する制御ユニットと,前記搬送手段の搬送状態を監視し,搬送状態が規定値を超えると前記駆動ユニットを停止させる停止手段とを備え,前記規定値が,前記搬送手段の位置的調整を行うティーチングモードと前記搬送手段を実運転させる実運転モードとに選択的に切り替え可能に構成されていることを特徴とする搬送装置のインターロック機構。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65G 1/00 535
, B65G 43/00
, B65G 49/07
H01L 21/68 A
, B65G 1/00 535
, B65G 43/00 A
, B65G 49/07 D
