特許

J-GLOBAL ID：200903083529264664

吸着剤充填フィルタのリーク検出方法及び装置

発明者： 船橋 清美 ,  深澤 哲生 ,  三浦 襄 ,  泉田 龍男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-008813
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222194
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】吸着剤充填フィルタのリーク検出方法及び装置において、フィルタ出口の不純物ガス濃度が検出限界以下であっても、信頼性の高いフィルタのリーク検出を行えるようにする。【構成】ヨウ素除去フィルタ1には吸着剤を充填した充填層2が取付けられている。本発明のリーク試験では、ヨウ素除去フィルタ1に通気ガスを供給するとともに、ヨウ素吸着剤と反応する反応性ガスを発生器3を用いてフィルタ入口から導入し、少なくともフィルタ出口の反応性ガスと反応生成物ガスの濃度を濃度測定器4を用いて測定する。反応性ガスと反応生成物ガスの両方の濃度を測定することによって、出口の反応性ガス濃度が検出限界以下であっても、反応性ガスがフィルタを透過した時期とその検出のタイミングが一致していることが確認でき、フィルタのリーク検出の信頼性が向上する。

請求項（抜粋）：

吸着剤充填フィルタのリーク検出方法において、前記フィルタに通気ガスを供給するとともに、吸着剤と反応する反応性ガスをフィルタ入口から導入し、少なくともフィルタ出口の反応性ガスと反応生成物ガスの濃度を測定することを特徴とする吸着剤充填フィルタのリーク検出方法。

IPC (5件)：

G21F 9/02 551 ,  B01D 53/04 ZAB ,  B01D 53/34 ,  G01M 3/00 ,  B01D 53/14 ZAB