特許

J-GLOBAL ID：200903083529527851

小さな吸光量の検出用測定方法

発明者： ベルント ザルトリウス
出願人/特許権者： ハインリツヒ-ヘルツ-インステイテユート フユール ナツハ リヒテンテヒニーク ベルリン ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-027313
公開番号（公開出願番号）：特開平5-018896
出願日： 1991年02月21日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 最新のテクノロジー、殊に半導体の分野では任意の物質材料における小さな吸光量(値)の測定が必要となっており、その際の測定精度及び測定速度に対する要求はプロセス実施上の簡易性及び経済性と共に益々増大しており、このような要求を充足することが本発明の目的である。【構成】 当該の検出された測定-及び基準信号UMc,URcを差形成Dの形で共にアナログ的に収集生成することにより小さな吸光量を直接的に測定し、上記の差形成の形の測定及び基準信号のアナログ的収集生成によっては被検物質MAなしでの測定の際の零ΔIBへの生成差ΔIBの適合調整により測定光ビームと基準光ビームM,R間の自然の(固有)強度差ΔMが自動的に考慮されるようにしたのである。

請求項（抜粋）：

任意の物質材料における小さな吸光量検出のための測定方法であって、異なる波長の測定ビーム及び基準ビームの透過光強度の少なくとも準同時的検出を行ない、ここにおいて該異なる波長は実質的に測定光ビームが吸収されるように異なったものであるようにし、更に、測定ビームと基準ビームとの自然の(固有)強度差を考慮して当該の検出された測定及び基準ビーム信号を共にアナログ的に収集生成する測定方法において、上記の検出された測定-及び基準信号(UMc,URc)を差形成(D)の形で共にアナログ的に収集生成することにより小さな吸光量を直接的に測定し、上記の差形成の形の測定及び基準信号のアナログ的収集形成によっては被検物質(MA)なしでの測定の際の零(ΔIB)への生成差(ΔIB)の適合調整により測定光ビームと基準光ビーム(M,R)間の自然の(固有)強度差(ΔM)が自動的に考慮されるようにしたことを特徴とする小さな吸光量の検出用測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/59 ,  G01N 21/64