特許
J-GLOBAL ID:200903083534480537

接触燃焼式ガスセンサ並びにガス検出方法及びその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 三好 秀和 (外8名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-277424
公開番号(公開出願番号):特開2001-099798
出願日: 1999年09月29日
公開日(公表日): 2001年04月13日
要約:
【要約】【課題】 可燃性の混合ガスからガス種を識別することができ、しかも簡単な構成で且つ安価な接触燃焼式ガスセンサ並びにガス検出方法及びその装置を提供する。【解決手段】 マイクロヒータ4と、このマイクロヒータ4上に形成され且つこのマイクロヒータ4の発熱量に応じて発熱して可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用する触媒層29と、マイクロヒータ4から順番に遠ざかるように配置され且つ可燃性ガスの燃焼熱を検出する第1乃至第6のサーモパイル5a〜5c,8a〜8cとを備える。マイクロヒータ4に最も近い位置に配置された第1及び第4のサーモパイルは、高温で燃焼するガスの燃焼熱を検出し、マイクロヒータからより遠ざかって配置された第3及び第6のサーモパイルは、低温で燃焼するガスの燃焼熱を検出する。従って、複数のサーモパイルからの出力を演算処理すれば、可燃性の混合ガスからガス種を識別することができる。
請求項(抜粋):
混合ガスからなる可燃性ガスを燃焼する際に発生する燃焼熱を検出することにより可燃性ガスを検量する接触燃焼式ガスセンサであって、基板上に形成され前記可燃性ガスの燃焼を促すためのヒータと、このヒータ上に形成され且つこのヒータの発熱量に応じて発熱して前記可燃性ガスの燃焼に対して触媒として作用する触媒層と、前記ヒータから順番に遠ざかるように配置され且つ前記可燃性ガスの燃焼熱を検出する複数のサーモパイルと、を備えたことを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。
IPC (2件):
G01N 25/32 ,  G01N 27/16
FI (2件):
G01N 25/32 ,  G01N 27/16 A
Fターム (30件):
2G040AA02 ,  2G040AB15 ,  2G040BA23 ,  2G040BB01 ,  2G040BB09 ,  2G040CA02 ,  2G040CA13 ,  2G040CA22 ,  2G040CB02 ,  2G040DA03 ,  2G040DA12 ,  2G040DA15 ,  2G040EA02 ,  2G040EA11 ,  2G040EB02 ,  2G040GA05 ,  2G040GA07 ,  2G040HA16 ,  2G040HA18 ,  2G060AA02 ,  2G060AB03 ,  2G060AB08 ,  2G060AB17 ,  2G060AE19 ,  2G060BA03 ,  2G060BB02 ,  2G060BB15 ,  2G060BD08 ,  2G060HC08 ,  2G060JA01
引用特許:
出願人引用 (7件)
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