光学素子形状測定方法及び装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230398
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056217
出願日： 1999年08月17日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：

【要約】【課題】被検物である光学素子あるいは型を保持する部材の一部に3次元測定機の座標基準となる部分を設けて、この部分を光学素子の形状と同時に測定し、得られた測定値をその基準に対する座標に変換して光学素子の絶対形状を求める。【解決手段】被検物たる光学素子2の3次元座標を測定する3次元座標測定手段1と、該3次元座標測定手段により得られた測定データを形状を表す関数にあてはめる手段4とを有する形状測定方法及び装置。

請求項（抜粋）：

被検物の3次元座標を測定する3次元座標測定手段と、該3次元座標測定手段により得られた測定データから形状を求める手段とを有することを特徴とする形状測定方法及び装置。

IPC (2件)：

G01B 21/20 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B 21/20 C , G01B 11/24 A

Fターム (39件)：

2F065AA04 , 2F065AA48 , 2F065AA53 , 2F065CC21 , 2F065CC22 , 2F065FF43 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL04 , 2F065LL12 , 2F065LL13 , 2F065LL46 , 2F065MM04 , 2F065PP24 , 2F065QQ00 , 2F065QQ17 , 2F065SS13 , 2F069AA21 , 2F069AA66 , 2F069BB40 , 2F069DD30 , 2F069EE04 , 2F069GG01 , 2F069GG07 , 2F069GG39 , 2F069GG52 , 2F069GG59 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069HH30 , 2F069JJ17 , 2F069MM02 , 2F069NN16 , 2F069NN18 , 2F069NN21

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